Разработчик первой советской атомной бомбы создаст оборудование для чипов за 993 млн рублей

Российский федеральный ядерный центр ВНИИЭФ (входит в структуру «Росатома») получил от Минпромторга 992,85 млн рублей на создание современного оборудования для выпуска микросхем. Контракт на опытно-конструкторскую работу «Дантист» был заключен 6 июля 2026 года, а завершить разработку планируется до 30 октября 2029 года.

ВНИИЭФ широко известен как разработчик первой советской атомной и водородной бомб. Теперь же его специалисты займутся созданием двух типов установок, необходимых при производстве полупроводников: системы временного соединения (бондинга) кремниевых пластин и установки для их разделения (дебондинга) и последующей очистки.

Оборудование будет рассчитано на пластины диаметром 100, 150 и 200 мм. Технология временного бондинга применяется на сложных этапах изготовления микросхем: кремниевую пластину временно приклеивают к специальной пластине-носителю, чтобы безопасно проводить дальнейшую обработку — например, утончение или транспортировку. После завершения цикла пластины отделяют, а остатки клея удаляют с помощью установки дебондинга.

Одно из ключевых требований проекта — максимальная локализация производства. Согласно техническому заданию, установки должны использовать исключительно российские компоненты: контроллеры на базе отечественных процессоров, платы управления с российскими микроконтроллерами и ПЛИС, вакуумные системы, механизмы автоматической загрузки и выгрузки пластин, а также собственное программное обеспечение.

Создание собственного оборудования для микроэлектроники позволит снизить зависимость от импортных поставок и поддержит развитие отечественной полупроводниковой отрасли. Как сообщает CNews, ВНИИЭФ стал единственным участником конкурса и получил контракт на выполнение этой важной опытно-конструкторской работы.